?可用于空氣、N2、Ar、CO2
?無潤滑脂規格。
?與流量調整閥一體化。
?體積小、重量輕、省空間。
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）為CO2的場合 |
?可用于空氣、N2、Ar、CO2?無潤滑脂規格。?與流量調整閥一體化。?體積小、重量輕、省空間。系列額定流量范圍（L/min）PFM0.2～10（0.2～5）0.5～25（0.5～12.5）1～50（1～25）2～100（2～50）（ ）為CO2的場
?可用于空氣、N2、Ar、CO2
?無潤滑脂規格。
?與流量調整閥一體化。
?體積小、重量輕、省空間。
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）為CO2的場合 |
