?適合0603芯片。?響應速度：13msec（500mm時※）/18.5msec（1000mm時※）。?可實現無超調的平滑工件脫離。?無需調節真空、正壓的切換時點。?不需要破壞空氣的節流回路。?真空過濾器：ZFC050（訂制規格）。