?在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門尺寸 （高×寬）（mm） | 動作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體類的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
?在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。系列使用壓力范圍（Pa）使用流體門尺寸（高寬）（mm）動作壓力（MPa）XGT大氣壓～110-6惰性氣體類的真空3222246236503360.45～0.6
?在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門尺寸 （高×寬）（mm） | 動作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體類的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
