?在HRZ系列的高性能基礎(chǔ)上，采用了DC變頻壓縮機，實現(xiàn)了節(jié)能
?溫度范圍和冷卻能力范圍大
?用于刷新循環(huán)塊的半導(dǎo)體裝置等，可平緩地對應(yīng)過程條件的變化
?符合UL, SEMI規(guī)格及CE標(biāo)識
| 系列 | 設(shè)定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩(wěn)定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 清水 脫離子水（純水） 乙二醇水溶液（60％） |
